手動位移平臺技術(shù)匯總
微位移技術(shù)在精密測試中具有非常重要的作用。本文介紹了一種基于應(yīng)變方式進(jìn)行二維微/
納米級位移測量的二維微位移平臺測量系統(tǒng), 它能夠應(yīng)用到多種精密測試的場合中, 結(jié)構(gòu)簡潔, 操作方便, 具有體積小、集成度高、精確度高的優(yōu)點。在后續(xù)的研究中, 我們將對其進(jìn)一步改進(jìn), 使其成為更經(jīng)濟(jì)實用的二維微位移測量裝置。
手動位移平臺實驗驗證
采用高精度的標(biāo)定裝置對二維微位移平臺測量系統(tǒng)進(jìn)行實驗。對x、y
方向分別進(jìn)行全量程測量,通過上位機(jī)可以看到實驗的結(jié)果。實驗表明, 采樣數(shù)據(jù)穩(wěn)定性好, adc 的實際有效分辨率可高達(dá)16位, 完全滿足分辨率為1/ 5 000
fs~ 1/ 10 000 fs 的要求。
手動位移平臺參數(shù)設(shè)置
可選擇的參數(shù)有濾波器型號、時鐘aclk、抽樣值、模擬開關(guān)延時、拋棄采樣周期數(shù)、放大倍數(shù)、以及是否用緩沖等。這些設(shè)
置主要通過控制寄存器a dmu x、aclk、adcon0 ~adcon 2 進(jìn)行。其中, adc 的參數(shù)的選擇問題將會直接影響它的分辨率,
用戶可根據(jù)實際的需要選擇adc 的初始化信息, 直到滿意為止。通過上位機(jī)與處理電路進(jìn)行通訊,
可對處理電路輸出的數(shù)字信號進(jìn)行實時的采樣和處理。
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