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超精密精密位移平臺(tái)的主軸部件目前所使用的主要有:液體靜壓軸承主軸、空氣式靜壓主軸兩種目前主要采用空氣軸承主軸。主軸和軸承的材料選取,對(duì)精密位移平臺(tái)的精度和性能有重要影響。精密位移平臺(tái)制造空氣主軸的材料有
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